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            場發射掃描式電子顯微鏡FEGSEM,優缺點?




            來源:jing
            時間:2012-9-24 9:00:54

            場發射掃描式電子顯微鏡(FEGSEM:Field Emission Gun Scanning Electron Microscopy)


            使用六硼化鑭(LaB6)或納米碳管(CNT)制作成針尖小于100nm(納米)的納米尖端來發射電子束(場發射),

            納米尖端可以使電子束的直徑縮小到10nm(納米)左右,

            其原理與掃描式電子顯微鏡(SEM)相同,如圖4-54(d)所示為場發射掃描式電子顯微鏡(FEGSEM)照片,
            場發射掃描式電子顯微鏡(FESEM)的解析度更高,可以用來觀察大約10nm(納米)的結構,但是只能觀察物體表面的高低起伏,
            所以表面平整的物體無法使用。

            (本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經允許禁止復制http://www.geraldnash.com)

              
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